Диагностика материалов и компонентов электроники и наноэлектроники методами фотоэлектронной микроскопии (РФЭС, УФЭС) и спектроскопии характеристических потерь энергии электронов

В учебном пособии изложены основные методы анализа экспериментальных данных о составе и свойствах твердых тел, полученных методами фотоэлектронной микроскопии и спектроскопии характеристических потерь энергии электронов.

Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки «Электроника и наноэлектроника».