Издание содержит конструктивно-технологические варианты реализации элементов трехмерных интегральных схем на диэлектрических подложках, в частности на структурах кремний на сапфире (КНС) и кремний на изоляторе. Описаны процессы формирования слоёв кремния на сапфире, механизмы роста слоёв КНС, влияние дефектов в эпитаксиальных слоях КНС на параметры приборов, технология создания структур кремний на изоляторе, а также рассмотрены перспективы развития конструктивно-технологических вариантов реализации интегральных схем на диэлектрических подложках.