Электронная оже-спектроскопия в диагностике элементов, приборов и устройств микро- и наноэлектроники

В учебном пособии изложены основные методы анализа состава и свойств поверхности твердых тел методом электронной оже-спектроскопии.

Приведено описание 13 лабораторных работ.

Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки «Электроника и наноэлектроника».